洁净棚,是一个用来进行洁净实验和工作的封闭环境,通常用于医药制造、微电子制造和科学研究等领域。洁净棚可以控制环境中的粒子数量、温度、湿度和空气流动性能,以确保在这些环境下进行的工作或实验不受污染。洁净棚分为软帘式和硬质,其中硬质洁净棚用钢板或钢化玻璃围护,性能和美观度更好,又被称为组装式洁净室、模块化洁净室。
首先,洁净棚的洁净度,洁净棚内部的洁净度应该达到设计要求,洁净度等级应该符合美国联邦209E标准或国标ISO14644-1标准。单向流或层流的洁净棚,即ISO 1-4级(十级以上),需要性能大于等于U15的超 高 效过滤器满布,ISO 5级(百级)需要性能大于等于 H14的高 效过滤器满布。当洁净棚的长宽皆大于4米时,ISO 1-5级的洁净棚应该采用架空地面,形成回风结构。
ISO 6-9级时,需要满足不同的换气次数。当洁净棚内人员过多或发热、发光源较多时,换气次数应适当增加。当洁净棚的高度大于3米时,换气次数应该适当增加。
其次,每台风机滤网机组FFU正下方,距离地面1.2米高度所测的噪声值不应大于68dB。
第三,洁净棚内照度应该大于300lux,具体需求按照供需双方商定的照度执行,且使用满足洁净棚要求的洁净灯具。
第四,洁净棚的使用环境应该在有洁净地面的洁净空间内,该洁净空间应该满足温湿度(温度:-10摄氏度至40摄氏度,相对湿度:30%至85%)的要求。此外,洁净棚进风口上方距离室内顶部宜满足保留500mm以上的空间尺寸。