洁净棚通过以下核心措施控制颗粒物浓度:
1. 高效过滤系统:采用HEPA或ULPA过滤器,过滤效率达99.99%以上(针对0.3μm颗粒),确保送风洁净。
2. 气流组织设计:
单向流(垂直/水平层流):气流均匀覆盖工作区,快速带走污染物,适用于ISO 5级(百级)等高要求场景。
非单向流:配合FFU(风机过滤单元)循环过滤,适合ISO 6-8级(千级至十万级)。
3.压差控制:维持正压(如+5~+10Pa)防止外部污染侵入,关键区域可设置缓冲间。
4. 材料与结构:采用光滑抗菌板材、无缝接缝,减少积尘死角;透明帘或硬质围挡平衡密闭性与操作性。
5. 监测与维护:实时粒子计数器监测,定期更换过滤器、清洁表面,确保长期稳定性。
行业适配:
半导体/光电:需ISO 4-5级,采用ULPA过滤器+高风速单向流。
医药/食品:ISO 5-7级,侧重防微生物污染,材料需耐腐蚀。
普通电子:ISO 6-8级,FFU循环系统即可满足,成本更低。